AZBIL山武MCS100質量微流量傳感器

氣體/液體流量計

質量流量傳感器

[型號]MCS100

型號MCS100是一款小型輕便、高速響應的質量流量傳感器， 內部搭載有MEMS傳感器。 熱式MEMS傳感器搭配低壓力損失的流路， 能實現以5ms的高速響應測量10L/min以下的氣體質量流量。

小型、輕便，安裝場所不受限

5ms超高速響應

正反兩個方向測量

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產品特征

小型、輕便，安裝場所不受限

機身小巧，僅 17×33.5mm，重量僅 9g。

安裝方向自由，無需前后的直管。

5ms超高速響應

直流流路，響應時間僅需5ms。

適用于高速生產節拍應用中的流量測量。

正反兩個方向測量

正反兩個方向的流量均可測量。

可以安裝在真空噴嘴附近（吸附確認不會出現延遲）。

組合產品

多通道流量顯示器 型號 MCW401

可以連接4臺質量流量傳感器MCS100，并顯示瞬時流量值。

• 開路集電極開關輸出　4點

• 標準配備適合于微小部件的吸附、安裝確認應用的4種窗口比較器模式，以及適合一般流量管理的2種滯后模式。

• 利用RS-232C通訊功能，能夠從電腦和可編程控制器中確認本機器的參數設定、瞬時流量值、監視開關輸出的動作狀態。

【可組合的MCS100型號】

MCS100A100、MCS100A104、MCS100A108、MCS100A112、MCS100A120、MCS100A128

型號 MCS100用 流量顯示器 型號 MCW100

可以連接質量流量傳感器型號 MCS100 的氣體質量流量傳感器的流量顯示器。

能夠設置 MCS100 的測量流量范圍，并在內部進行線性化運算處理，實時顯示瞬時流量，并輸出開關信號。

此外，它還具備五種操作模式。

通過與型號 MCS100 的組合，可以用于微小電子元件的真空吸附確認、簡易流量顯示、流量報警輸出等多種應用。

為了提高可視性，該顯示器采用了高亮度液晶（LCD）。

顯示顏色可任意設置為綠色或紅色，并且可以根據開關輸出的動作切換顯示顏色。

AZBIL山武MCS100質量微流量傳感器